2024浪漫武汉 诚锋科技与您相约
发布时间:
Apr 09,2024
诚锋与您相约武汉
2024年4月9号
九峰山论坛暨
中国国际化合物半导体
产业博览会
在武汉光谷科技会展中心
盛大开幕
让我们跟随小编的脚步👣看看现场风采吧
晶圆多功能检测设备
CFW380
Fab后段缺陷检测
产品名称：CFW380-Fab后段缺陷检测设备
应用场景：OQC/切割后检测/扩膜后检测
适用领域：
1. FAB 品质终检
2. wafer划片后/扩膜后检测
3. 支持12” /8” /6” wafer
4. 支持Taiko/Thin减薄工艺
5. 支持wafer翻转功能
6. ADC 自动缺陷分类
像素分辨率：2.4μm@2X
放大倍率：1X/2X/5X
特点：良率控制，细微缺陷检测
CFW820
Fab前段缺陷检测设备
产品名称：CFW820-Fab前段缺陷检测设备
应用场景：ADI/AEI/Post CMP/先进封装/切割道/0QC
适用领域：
1. FAB前段工艺控制
2. 支持12” /8” /6” wafer
3. 支持Taiko/Thin减薄工艺
4. 支持wafer翻转功能
5. ADC 自动缺陷分类
像素分辨率：976nm@5X
放大倍率：2X/5X/10X/20X
特点：AOI，大缺陷快速筛选
CFW920
Fab前段工艺控制设备
产品名称：CFW920-Fab前段工艺控制设备
应用场景：ADI/AEI/Post CMP/先进封装/切割道/0QC
适用领域：
1. FAB前段工艺控制
2. 支持12” /8” /6” wafer
3. 支持Taiko/Thin减薄工艺
4. 支持wafer翻转功能
5. ADC 自动缺陷分类
像素分辨率：170 nm@20X
放大倍率：2X/5X/10X/20X,50X/100X
特点：良率控制，细微缺陷检测
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